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低溫冷凍機的低溫冷凍機

真空濺鍍是材料表面處理的重要方法之一，目前，高產能的連續化真空濺鍍生產線已成為防EMI 的主導設備，其主要包括以 DIP 作主真空泵，BP+RP 作前級泵實現真空腔體的高真空（10-3Pa量級），氬氣作氣源，開關電源供電，磁控陰極靶源等。這種生產線具有加工成本低、生產效率高且環保無污染等優點而得到廣泛應用。連續化真空濺鍍生產線始端有 2 個過渡真空腔體，前者是低真空過渡腔體，后者是高真空過渡腔體。前者由大氣壓力向低真空過渡，此過程速度較快，不影響整條生產線節拍；后者由低真空向高真空過渡，此環節是整條生產線中慢的，尤其是在多雨季節。要加快此節拍，目前通常做法有三：一是加大抽真空設備功率；二是設置容積塊，縮小腔體自由空間；三是設置深冷泵，加快達到高真空。通過初步對比研究，我們認為，加大抽真空設備功率，收效小，耗能高，不經濟；設置容積塊，受腔體結構制約，效果差，維護保養不便；采用超低溫冷凍機對生產線進行改造，達到高真空壓力時間可大為縮短，功耗增加不大，維護方便。

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